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當前位置：首頁成功案例?連相?光源DCLS極紫外光束傳輸系統(tǒng)

?連相?光源DCLS極紫外光束傳輸系統(tǒng)

發(fā)布時間：2024/11/18 11:00:39

極紫外光束傳輸系統(tǒng)是?連相?光源（DCLS）光源技術的關鍵系統(tǒng)之?，主要?于將在真空中產(chǎn)?且不能在空 ?中傳輸?shù)臉O紫外光束?效地傳輸?shù)綄嶒炑芯?作站。 創(chuàng)譜儀器承接并完成了該光束傳輸系統(tǒng)的光學設計、 ?程設計 、 在線安裝與集成測試?作，帶光調試結果符合 預期指標要求，已順利交付并投?使?。